| Сандық идентификатор | |
|---|---|
| Таксономический код | [25528, 25527, 25526, 23942, 7697, 7760, 4982, 3, 1] |
| Атауы (орыс тілі) | фотолитография (планографический процесс печати с использованием пластин, сделанных из фотографического изображения) |
| Атауы (ағылшын тілі) | photolithography |
| Гипероним | lithography : литография (метод планографической печати с поверхности металла или камня) |
| Гипонимдар |
